2023年9月22日，生态环境部办公厅为进一步规范建设项目环境影响评价文件审批，统一管理尺度，制定《集成电路制造建设项目环境影响评价文件审批原则》（征求意见稿）。
集成电路制造建设项目环境影响评价文件审批原则
（征求意见稿）
第一条 本审批原则适用于《建设项目环境影响评价分类管理名录（2021 年版）》中电子器件制造 397 的集成电路制造建设项目环境影响评价文件的审批。
第二条 项目应符合生态环境保护相关法律法规、法定规划以及相关产业结构调整、重点污染物总量控制等政策要求。
第三条 项目选址应符合生态环境分区管控要求，不得位于法律法规明令禁止建设的区域，应避开生态保护红线。鼓励新建、扩建项目选址布局在依法合规设立的产业园区内，符合园区规划及规划环境影响评价要求。
第四条 强化节水措施，鼓励市政再生水的使用，减少新鲜水的消耗，鼓励清洗水回用，提高水的回用率和重复利用率。
第五条 鼓励采用转轮浓缩吸附燃烧装置处理硅片有机洗、光刻、湿法去胶等工序产生的有机废气；鼓励采用多级喷淋吸收系统处理硅片酸洗、湿法刻蚀、湿法去胶、含氰电镀等工序产生的氯化氢、氟化物、氮氧化物、硫酸雾、磷酸雾、氰化氢等酸性废气以及硅片碱洗、显影等工序产生的氨、胺类化合物等碱性废气；化学气相沉积、干法刻蚀、扩散、离子注入、热氧化、干法去胶等工序产生的氟化物、氯气、氯化氢、硅烷、磷化氢、砷化氢等特种废气、焊接工序产生的铅及其化合物等重金属应配置收集系统和净化处理装置，重点关注氟化物、氯化氢、挥发性有机物、砷化氢、氯气、硫酸雾、氰化物等特征污染物的达标排放情况。
项目排放的废气污染物应符合《大气污染物综合排放标准》（GB 16297）要求；项目工艺过程产生的氨以及污水处理站产生的氨、硫化氢、臭气浓度等恶臭污染物排放应符合《恶臭污染物排放标准》（GB 14554）要求；涉及使用 VOCs 物料的，厂区内挥发性有机物无组织排放应符合《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB 37822）要求；锅炉烟气应符合《锅炉大气污染物排放标准》（GB 13271）要求。
第六条 按照清污分流、雨污分流、分类收集、分质处理的原则，设立完善的废水分类收集、处理、回用系统，提高水循环利用率，减少废水外排量。生产废水优先回用，污染雨水收集处理。含氟废水、含氨废水、有机废水、研磨废水、酸碱废水、含重金属废水、含砷废水、划片废水等应设立完善的废水收集、处理、回用系统。重点关注 pH 值、氨氮、氟化物、总氮、总砷、总磷、重金属等特征因子的达标排放情况。鼓励含重金属废水采用化学沉淀法预处理，含砷废水采用过滤+化学沉淀法预处理，含氟废水采用化学沉淀法预处理，含氨废水采用吹脱法或厌氧氨氧化法预处理。
项目排放的废水污染物应符合《电子工业水污染物排放标准》 (GB 39731)要求。
第七条 按照减量化、资源化、无害化的原则，妥善处理处置固体废物。危险废物应委托有相应危废处置资质的单位进行处置。重点关注危险废物种类识别是否遗漏、处理处置去向是否合法合规。鼓励通过综合利用的方式实现固体废物减量化，鼓励废硫酸阶梯使用。
危险废物和一般工业固体废物贮存和处置应符合《危险废物贮存污染控制标准》(GB 18597)、《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB 18599)等相关要求。
第八条 优化厂内冷却塔、风机、室外空压机等设备的平面布置，优先选择低噪声设备和工艺，采取减振、隔声、消声等措施有效控制噪声污染，加强厂区内固定设备、运输工具、货物装卸等噪声源管理，同时避免突发噪声扰民，厂界噪声应满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348）要求。禁止在噪声敏感建筑物区域内新建项目，位于噪声敏感建筑物集中区域的改建、扩建项目，应强化噪声污染防治措施，进一步降低噪声影响。
第九条 严格防控项目环境风险，建立完善的环境风险防控体系，提升环境风险防控能力，确保环境风险防范和应急措施合理、有效。针对项目可能产生的突发环境事件应制定有效的风险防范和应急措施，提出运行期突发环境事件应急预案编制要求。化学品库、化学品供应间等液体化学品存储区需设置事故废水收集和应急储存设施。需计算氯气、砷化氢、磷化氢等有毒有害气体的泄露影响范围并提出环境风险防范和应急措施。
第十条 土壤及地下水污染防治应坚持源头控制、分区防控、跟踪监测的防控原则。对涉及有毒有害物质的生产、使用、贮存、运输、回收、处置、排放的装置、设备设施及场所，提出防腐蚀、防渗漏、防流失、防扬散等土壤污染防治具体措施，并根据环境保护目标的敏感程度、项目平面布局、水文地质条件等采取分区防渗措施，提出有效的土壤、地下水监控和应急方案。对于可能受影响的地下水环境敏感目标，应提出保护措施；涉及饮用水功能的，强化地下水环境保护措施，确保饮用水安全。对涉及土壤污染重点监管单位的改建、扩建项目，需提出土壤污染隐患排查、自行监测相关要求。
第十一条 改建、扩建项目应全面梳理现有工程存在的环保问题或减排潜力，提出有效整改或改进措施。
第十二条 明确项目实施后的环境管理要求和环境监测计划。根据行业自行监测技术指南要求，制定废水、废气污染物排放及厂界噪声监测计划并开展监测，监测位置应符合技术规范要求。对电子工业污水集中处理设施运营企业提出按照《电子工业水污染物排放标准》(GB 39731)开展废水综合毒性监测要求。
第十三条 环境影响评价文件编制应规范，基础资料数据应符合实际情况，内容完整、准确。环境影响评价结论应明确、合理，符合建设项目环境影响报告表编制技术指南要求，需要开展专项评价的还应符合相关环境影响评价技术导则要求。
